氣體流量是部分大氣等離子清洗機(jī)和真空等離子清洗機(jī)處理效果是否穩(wěn)定的重要技術(shù)參數(shù)，不同類型的等離子清洗機(jī)、使用不同的工藝氣體，對于氣體流量控制器的選擇會(huì)有所不同。
我們總結(jié)了一些氣體流量控制器選擇的小貼士，現(xiàn)分享給大家。
1、流量控制器的選擇：
根據(jù)放電形式不同，大氣等離子清洗機(jī)放電所需氣體條件也是有講究的。常見的射流型和射頻型等離子清洗機(jī)，應(yīng)該通入符合一定壓力和流量要求的壓縮空氣（CDA），才會(huì)產(chǎn)生穩(wěn)定的等離子體，以保證設(shè)備的正常運(yùn)行。通常的流量控制方式是以調(diào)壓閥和手動(dòng)浮子流量計(jì)配合的方式來保證工作氣壓和氣流的穩(wěn)定。
建議選用帶有流量控制器的專用氣源來為其提供穩(wěn)定的工作氣體。此裝置的優(yōu)點(diǎn)是攜帶方便、氣源干燥清潔、壓力和流量持續(xù)穩(wěn)定。
2、注意事項(xiàng)：
等離子清洗機(jī)需保證真空反應(yīng)腔體內(nèi)的壓力穩(wěn)定，所以選擇好氣體流量控制器后，還需注意氣管接頭的挑選。通常我們會(huì)選用快擰接頭或卡套接頭作為氣體流量控制器的氣管接頭，以此來滿足工藝氣體真空管路的密封。
大氣等離子清洗機(jī)在處理一些特殊材料的時(shí)候，可能會(huì)把液態(tài)單體作為放電介質(zhì)，就必須使用手動(dòng)浮子流量計(jì)作為流量控制器；對于腐蝕性單體則需使用防腐型的浮子流量計(jì)；對真空環(huán)境要求比較苛刻的，建議使用高密封性的浮子流量計(jì)。
如需對液態(tài)單體進(jìn)行流量監(jiān)控，也可增加氣液流量計(jì)，但需考慮單體的測量元素、沸點(diǎn)、冷凝點(diǎn)等因素，可視情況進(jìn)行選擇。
