旋片式真空泵是一種油封式機械真空泵，其主要的部件有泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等。旋片式真空泵有單級和雙級兩種，等離子清洗機常用的是雙級旋片式真空泵，所謂雙級旋片式真空泵就是在結(jié)構(gòu)上將兩個單級泵串聯(lián)起來。

　　旋片式真空泵的泵腔內(nèi)偏心地裝有一個轉(zhuǎn)子，而轉(zhuǎn)子的外圓與泵腔的內(nèi)表面相切，同時轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有兩個帶彈簧的旋片。轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時，靠離心力和彈簧的彈力使旋片頂端與泵腔體內(nèi)壁保持接觸，轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動旋片沿泵腔內(nèi)壁滑動。旋片式真空泵利用兩個旋片將泵腔體分為3個部分，因為轉(zhuǎn)子是偏心安裝的，所以被分成的3個部分的空間會隨著轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)而變化，利用壓強差來達(dá)到抽氣的目的。

　　旋片式真空泵在真空等離子清洗機上大多數(shù)用在小型腔體（80L以下）或者作為真空泵組的前級泵。

　　旋片式真空泵具有以下這些優(yōu)點：

　　第一，旋片式真空泵在抽除腔體內(nèi)的干燥氣體的同時，也能抽除一定量的可凝性氣體和氣水混合物；

　　第二，結(jié)構(gòu)相對簡單，維護(hù)保養(yǎng)起來方便；

　　第三，體積小、重量較輕，便于安裝移動；

　　第四，振動微小，噪音低；

　　第五，價錢相對低一些等。

　　2.干式真空泵

　　干式真空泵是無油干式機械真空泵的簡稱。干式真空泵是不用油、水或其它聚合物等流體充當(dāng)工作介質(zhì)的一種真空泵。這樣使得干式真空泵在潔凈度方面更好，防止了油污染，所以干式真空泵大多用在對潔凈度要求比較高的真空等離子清洗機上，比如說半導(dǎo)體領(lǐng)域、生物醫(yī)療領(lǐng)域以及航天航空領(lǐng)域等。在真空等離子清洗機上常用的一種干式真空泵就是干式螺桿真空泵。

　　①干式螺桿真空泵

　　干式螺桿真空泵是利用一對螺桿，在真空泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)，從而產(chǎn)生作用力來實現(xiàn)吸氣和排氣功能的真空泵。因為干式螺桿真空泵在工作時，相互之間無磨擦，運轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，所以在工作腔無需潤滑油。干式螺桿真空泵是一款性能優(yōu)秀的干式真空泵，具有許多比其他真空泵好的地方：

　　第一，干式螺桿真空泵的極限真空度很高，最高極限真空可達(dá)到1-2Pa；

　　第二，干式螺桿真空泵性能穩(wěn)定，噪音低，故障率低，維護(hù)簡單；

　　第三，干式螺桿真空泵的一種工作腔和螺桿轉(zhuǎn)子表面均有防腐涂層，可適應(yīng)惡劣工況。